Publication detail
Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode
GLAJC, P. ZLÁMAL, J. MACH, J. KOLÍBAL, M. ŠIKOLA, T.
Czech title
Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou
English title
Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode
Type
journal article - other
Language
cs
Original abstract
Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.
Czech abstract
Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.
English abstract
This paper deals with development of a new type of ion source and with testing of its parameters. The ion source is a saddle-field type and is designed primary for sputtering of solid targets by N2+ or Ar+ ions.
Keywords in Czech
Iontový zdroj; Sedlové pole; Žhavená katoda; Odprašování; EOD
Keywords in English
Ion source; Saddle field; Heated cathode; Sputtering; EOD
RIV year
2014
Released
01.07.2014
ISSN
0447-6441
Volume
59
Number
6-7
Pages from–to
181–183
Pages count
3
BIBTEX
@article{BUT108676,
author="Petr {Glajc} and Jakub {Zlámal} and Jindřich {Mach} and Miroslav {Kolíbal} and Tomáš {Šikola},
title="Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou",
year="2014",
volume="59",
number="6-7",
month="July",
pages="181--183",
issn="0447-6441"
}