Product detail
Functional prototype of a UHV SEM/SPM
DOLEŽEL, P. LOPOUR, F. PLACHÝ, L. SKLADANÝ, R. ZIGO, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.
Czech title
Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM
English title
Functional prototype of a UHV SEM/SPM
Type
prototype
Czech abstract
Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM obsahuje: UHV SEM tubus, přípravní komora, in-beamSE detektor, chlazení (voda/LN2) pro shutter objektivové čočky, manipulátor s rotací, efuzní cela, instalovaný spektrometr Augerovych elektronů, loadlock vybavený pre-loadlockem a preparační komora. Celá aparatura je instalovaná s rámem se zvýšenou tuhosti a aktivním tlumením vibrací. Sestava je také vybavena UHV kompatibilním kryoSPM skenerem vlastní konstrukce.
English abstract
The functional prototype of the UHV SEM / SPM apparatus contains: UHV SEM column, preparation chamber, in-beamSE detector, cooling (water / LN2) for objective lens shutter, rotary manipulator, effusion cell, installed Auger electron spectrometer, loadlock equipped with pre-loadlock and preparation chamber. The whole apparatus is installed on a frame with high stiffness and active vibration damping. The apparatus is also equipped with a UHV compatible cryo-SPM scanner that was designed and constructed in-house.
Create date
31.12.2017
Location
TESCAN Brno s.r.o.