Publication detail

Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I. MÜLLEROVÁ, I.

Czech title

Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.

Type

conference paper

Language

cs

Original abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku za účelem optimalizace jednotlivých modulů trasy.

Czech abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku za účelem optimalizace jednotlivých modulů trasy.

Keywords in Czech

sběrová účinnost, sekundární elektrony, ET detektor

Released

11.03.2004

BIBTEX


@inproceedings{BUT21743,
  author="Ilona {Müllerová} and Ivo {Konvalina},
  title="Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.",
  year="2004",
  month="March"
}