Vývoj stolního experimentálního uspořádání spektrometrie laserem buzeného plazmatu pro spektrochemickou analýzu s vysokým prostorovým rozlišením

Development of a table-top LIBS experimental setup for spectrochemical analysis with high spatial resolution

abstract

en

Here we present the development of a table-top LIBS experimental setup, capable of automatized 2D large-area (cm x cm)surface analysis with high spatial resolution (~100 um)of virtually any solid sample. One of the advantages of this setup is the possibility to analyse samples with rough or rugged surface. The sample are placed to a stage with a high precision (2 um) x, y, z movements. Using advanced image processing algorithms for evaluating the image sharpness the sample is positioned to the focal plane of the focusing optics for the laser. The focusing algorihm can be called for each nth ablation crater.

Prezentován je vývoj stolního uspořádání pro spektrometrii laserem buzeného plazmatu umožňující automatickou povrchovou analýzu velké plochy (cm x cm) s vysokým prostorovým rozlišením (~100 um)prakticky jakéhokoliv pevného vzorku. Jedna z výhod tohoto uspořádání je možnost analýzy vzorků s hrubým nebo nerovným povrchem. Vzorek je upevněn na x, y, z stolku, který umožňuje posun s vysokou pesností(2 um). Použitím zdokonaleného algoritmu pro vyhodnocení ostrosti obrazu je umožněno nastavení přesné pozice do optické vzdálenosti čočky zaostřující paprsek laseru. Algoritmus zaostření muže být využito pro každý n-tý kráter.

Here we present the development of a table-top LIBS experimental setup, capable of automatized 2D large-area (cm x cm)surface analysis with high spatial resolution (~100 um)of virtually any solid sample. One of the advantages of this setup is the possibility to analyse samples with rough or rugged surface. The sample are placed to a stage with a high precision (2 um) x, y, z movements. Using advanced image processing algorithms for evaluating the image sharpness the sample is positioned to the focal plane of the focusing optics for the laser. The focusing algorihm can be called for each nth ablation crater.

LIBS; spectrochemical analysis with high spatial resolution

2008

07.07.2008

Centre for Geobiology at University of Bergen

Praha

9th European Workshop on Laser Ablation in Elemental and Isotopic Analysis

120–120

1