Publication detail

In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. ŠIKOLA, T. ZLÁMAL, J. CHMELÍK, R. HARNA, Z. JIRUŠE, J. JÁKL, M.

Czech title

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

English title

In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters

Type

journal article - other

Language

cs

Original abstract

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

Czech abstract

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

English abstract

In the paper the basic principles of an instrument for the monitoring of areal homogenity of thickness and optical properties of thin films developed in the Institute of Physical Engineering at Brno University of Technology are reported. A special attention is paid ti applications of the instrument for in situ experiments carried out in a high-vacuum etching and deposition apparaturus IBAD

Keywords in English

IBAD, homogenity, thin films

RIV year

2001

Released

01.04.2001

ISSN

0447-6441

Journal

Jemná mechanika a optika

Volume

46

Number

4

Pages count

3

BIBTEX


@article{BUT40057,
  author="Stanislav {Voborný} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Jakub {Zlámal} and Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Jaroslav {Jiruše} and Miloš {Jákl},
  title="In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2001",
  volume="46",
  number="4",
  month="April",
  issn="0447-6441"
}