Detail publikace
Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností
TOMÁNEK, P.
Český název
Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností
Typ
dizertace
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Pro překonání hranic daných Rayleighovou-Abbeovou podmínkou pro příčnou rozlišovací schopnost optických mikroskopů je třeba detekovat optické pole difragované předmětem v nepatrné vzdálenosti od jeho povrchu. Cílem práce je realizace skenovacího optického mikroskopu s lokální dielektrickou sondou. Ukázali jsme dvě metody přípravy těchto mikrodetektorů, jejichž tvar a rozměry ovlivňují podstatným způsobem rozlišovací schopnost zařízení. Prezentované výsledky ukazují, že v případě polohy hrotu v blízkém poli je možné dosáhnout rozlišovací schopnosti lambda/10.
Český abstrakt
Pro překonání hranic daných Rayleighovou-Abbeovou podmínkou pro příčnou rozlišovací schopnost optických mikroskopů je třeba detekovat optické pole difragované předmětem v nepatrné vzdálenosti od jeho povrchu. Cílem práce je realizace skenovacího optického mikroskopu s lokální dielektrickou sondou. Ukázali jsme dvě metody přípravy těchto mikrodetektorů, jejichž tvar a rozměry ovlivňují podstatným způsobem rozlišovací schopnost zařízení. Prezentované výsledky ukazují, že v případě polohy hrotu v blízkém poli je možné dosáhnout rozlišovací schopnosti lambda/10.
Vydáno
26.05.1999
BIBTEX
@phdthesis{BUT66637,
author="Pavel {Tománek},
title="Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností",
year="1999",
month="May"
}