Publication detail

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I.

Czech title

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

Type

conference paper

Language

cs

Original abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku. Počítačové simulace byly prováděny pomocí programových souborů SIMION 3D, MLD, MLP a TRASYS a výsledky byly srovnávány s experimentálními daty.

Czech abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku. Počítačové simulace byly prováděny pomocí programových souborů SIMION 3D, MLD, MLP a TRASYS a výsledky byly srovnávány s experimentálními daty.

Keywords in Czech

sběrová účinnost, elektrostatické pole, magnetické pole

Released

30.01.2004

Location

BRNO

ISBN

80-239-2268-8

Book

PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika

Pages count

8

BIBTEX


@inproceedings{BUT21745,
  author="Ivo {Konvalina},
  title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.",
  booktitle="PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika",
  year="2004",
  month="January",
  address="BRNO",
  isbn="80-239-2268-8"
}