Detail publikace
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.
KONVALINA, I.
Český název
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku. Počítačové simulace byly prováděny pomocí programových souborů SIMION 3D, MLD, MLP a TRASYS a výsledky byly srovnávány s experimentálními daty.
Český abstrakt
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku. Počítačové simulace byly prováděny pomocí programových souborů SIMION 3D, MLD, MLP a TRASYS a výsledky byly srovnávány s experimentálními daty.
Klíčová slova česky
sběrová účinnost, elektrostatické pole, magnetické pole
Vydáno
30.01.2004
Místo
BRNO
ISBN
80-239-2268-8
Kniha
PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika
Počet stran
8
BIBTEX
@inproceedings{BUT21745,
author="Ivo {Konvalina},
title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.",
booktitle="PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika",
year="2004",
month="January",
address="BRNO",
isbn="80-239-2268-8"
}