Publication detail

Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA I.

Czech title

Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

Type

conference paper

Language

cs

Original abstract

Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečné zobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.

Czech abstract

Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečné zobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.

Keywords in Czech

detekční účinnost, rastrovací elektronový mikroskop, detekční trasa

Released

16.12.2002

Location

BRNO

ISBN

80-238-9915-5

Book

PDS 2002

Pages count

2

BIBTEX


@inproceedings{BUT21746,
  author="Ivo {Konvalina},
  title="Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.",
  booktitle="PDS 2002",
  year="2002",
  month="December",
  address="BRNO",
  isbn="80-238-9915-5"
}