Detail publikace

Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA I.

Český název

Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečné zobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.

Český abstrakt

Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečné zobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.

Klíčová slova česky

detekční účinnost, rastrovací elektronový mikroskop, detekční trasa

Vydáno

16.12.2002

Místo

BRNO

ISBN

80-238-9915-5

Kniha

PDS 2002

Počet stran

2

BIBTEX


@inproceedings{BUT21746,
  author="Ivo {Konvalina},
  title="Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.",
  booktitle="PDS 2002",
  year="2002",
  month="December",
  address="BRNO",
  isbn="80-238-9915-5"
}