Publication detail
The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM
KONVALINA, I.
Czech title
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM
English title
The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM
Type
conference paper
Language
cs
Original abstract
Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru.
Czech abstract
Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru.
English abstract
This work deals with the trajectories of the secondary electrons simulations to calculate the collection efficiency of the secondary electron detector in the scanning electron microscopes. The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and the geometrical parameters in the specimen chamber on the trajectories of signal particles in the detector vicinity.
Keywords in Czech
sběrová účinnost, ET detektor, sekundární elektrony
Keywords in English
collection efficiency, ET detector, secondary electrons
Released
19.12.2006
Publisher
Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno
Location
Brno
ISBN
80-239-7957-4
Book
PDS 2006
Pages count
4
BIBTEX
@inproceedings{BUT25174,
author="Ivo {Konvalina},
title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM",
booktitle="PDS 2006",
year="2006",
month="December",
publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno",
address="Brno",
isbn="80-239-7957-4"
}