Detail publikace
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM
KONVALINA, I.
Český název
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM
Anglický název
The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru.
Český abstrakt
Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru.
Anglický abstrakt
This work deals with the trajectories of the secondary electrons simulations to calculate the collection efficiency of the secondary electron detector in the scanning electron microscopes. The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and the geometrical parameters in the specimen chamber on the trajectories of signal particles in the detector vicinity.
Klíčová slova česky
sběrová účinnost, ET detektor, sekundární elektrony
Klíčová slova anglicky
collection efficiency, ET detector, secondary electrons
Vydáno
19.12.2006
Nakladatel
Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno
Místo
Brno
ISBN
80-239-7957-4
Kniha
PDS 2006
Počet stran
4
BIBTEX
@inproceedings{BUT25174,
author="Ivo {Konvalina},
title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM",
booktitle="PDS 2006",
year="2006",
month="December",
publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno",
address="Brno",
isbn="80-239-7957-4"
}