Publication detail

Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

CHMELÍK, R. LOVICAR, L. HARNA, Z.

Czech title

Měření povrchů pomocí holografického konfokálního mikroskopu

English title

Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

Type

journal article - other

Language

en

Original abstract

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be converted into the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

Czech abstract

Konfokální zobrazování holografickým konfokálním mikroskopem je založeno na nekoherentní holografii v reálném čase. Kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována rovněž obrazová fáze. V tomto článku demonstrujeme možnost převést fázovou mapu na mapu výšek povrchu vzorku a tímto způsobem měřit povrchový profil s přesností několika nanometrů. Případná nejednoznačnost určení výšky velkých výškových skoků je odstraněna díky hloubkové diskriminaci zobrazení. Potřebné osová rozlišovací schopnosti je dosaženo využitím širokospektrálního osvětlení.

English abstract

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be converted into the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

Keywords in English

holography applications; profilometry; confocal microscopy.

RIV year

2003

Released

01.01.2003

ISSN

0078-5466

Journal

Optica Applicata

Volume

33

Number

2-3

Pages count

9

BIBTEX


@article{BUT41935,
  author="Radim {Chmelík} and Luděk {Lovicar} and Zdeněk {Harna},
  title="Surface profilometry by a holographic confocal microscopy",
  journal="Optica Applicata",
  year="2003",
  volume="33",
  number="2-3",
  month="January",
  issn="0078-5466"
}