Měření povrchů pomocí holografického konfokálního mikroskopu

Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

článek v časopise - ostatní, Jost

en

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be converted into the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

Konfokální zobrazování holografickým konfokálním mikroskopem je založeno na nekoherentní holografii v reálném čase. Kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována rovněž obrazová fáze. V tomto článku demonstrujeme možnost převést fázovou mapu na mapu výšek povrchu vzorku a tímto způsobem měřit povrchový profil s přesností několika nanometrů. Případná nejednoznačnost určení výšky velkých výškových skoků je odstraněna díky hloubkové diskriminaci zobrazení. Potřebné osová rozlišovací schopnosti je dosaženo využitím širokospektrálního osvětlení.

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be converted into the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

holography applications; profilometry; confocal microscopy.

2003

01.01.2003

0078-5466

Optica Applicata

33

2-3

9