Publication detail

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. BUČEK, M. NEUGEBAUER, P. ŠIKOLA, T.

Czech title

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

English title

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Type

journal article - other

Language

cs

Original abstract

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Czech abstract

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

English abstract

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Keywords in English

thin films, optical reflection, interferometry

RIV year

2003

Released

01.06.2003

ISSN

0447-6411

Journal

Jemná mechanika a optika

Volume

48

Number

6

Pages count

3

BIBTEX


@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola},
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  month="June",
  issn="0447-6411"
}