Detail publikace

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. BUČEK, M. NEUGEBAUER, P. ŠIKOLA, T.

Český název

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

Anglický název

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Český abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Klíčová slova anglicky

thin films, optical reflection, interferometry

Rok RIV

2003

Vydáno

01.06.2003

ISSN

0447-6411

Časopis

Jemná mechanika a optika

Ročník

48

Číslo

6

Počet stran

3

BIBTEX


@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola},
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  month="June",
  issn="0447-6411"
}