Publication detail

Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.

MÜLLEROVÁ, I. KONVALINA I.

Czech title

Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu.

English title

Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.

Type

journal article - other

Language

en

Original abstract

The final image contrast in the scanning electron microscope (SEM) is not only a product of the interaction of primary electrons with the target, but the collection efficiency of the detector with its energy and angular distributions, as well as any subsequent signal processing, also play a role. In order to arrive at high signal-to-noise ratio, as many signal species should be caught as possible, though achieving a high contrast might require the selection of only a small part of the emission spectra. Multi-channel parallel detectors are promising in this respect.

Czech abstract

Kontrast finálního obrazu v rastrovacím elektronovém mikroskopu není pouze výsledkem interakce primárních elektronů s látkou, ale významnou roli hraje sběrová účinnost detektoru a jeho energiové a úhlové rozdělení stejně jako následné zpracování signálu. K dosažení vysokého poměru signálu k šumu je třeba hodně signálu, ačkoliv dosažení vysokého kontrastu může vyžadovat výběr pouze malé části emisního spektra. Mnohakanálové paralelní detektory jsou nadějné v tomto ohledu.

English abstract

The final image contrast in the scanning electron microscope (SEM) is not only a product of the interaction of primary electrons with the target, but the collection efficiency of the detector with its energy and angular distributions, as well as any subsequent signal processing, also play a role. In order to arrive at high signal-to-noise ratio, as many signal species should be caught as possible, though achieving a high contrast might require the selection of only a small part of the emission spectra. Multi-channel parallel detectors are promising in this respect.

Keywords in Czech

mnoha-kanálový detektor, úhlová distribuce nízkoenergiový elektronový mikroskop

Keywords in English

multi-channel detector, angular distribution, low energy electron microscope

Released

30.07.2006

ISSN

1431-9276

Journal

MICROSCOPY AND MICROANALYSIS

Volume

12

Number

2

Pages count

2

BIBTEX


@article{BUT44384,
  author="Ilona {Müllerová} and Ivo {Konvalina},
  title="Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.",
  journal="MICROSCOPY AND MICROANALYSIS",
  year="2006",
  volume="12",
  number="2",
  month="July",
  issn="1431-9276"
}