Detail publikace

Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu.

MÜLLEROVÁ, I. KONVALINA I.

Český název

Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu.

Anglický název

Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

en

Originální abstrakt

The final image contrast in the scanning electron microscope (SEM) is not only a product of the interaction of primary electrons with the target, but the collection efficiency of the detector with its energy and angular distributions, as well as any subsequent signal processing, also play a role. In order to arrive at high signal-to-noise ratio, as many signal species should be caught as possible, though achieving a high contrast might require the selection of only a small part of the emission spectra. Multi-channel parallel detectors are promising in this respect.

Český abstrakt

Kontrast finálního obrazu v rastrovacím elektronovém mikroskopu není pouze výsledkem interakce primárních elektronů s látkou, ale významnou roli hraje sběrová účinnost detektoru a jeho energiové a úhlové rozdělení stejně jako následné zpracování signálu. K dosažení vysokého poměru signálu k šumu je třeba hodně signálu, ačkoliv dosažení vysokého kontrastu může vyžadovat výběr pouze malé části emisního spektra. Mnohakanálové paralelní detektory jsou nadějné v tomto ohledu.

Anglický abstrakt

The final image contrast in the scanning electron microscope (SEM) is not only a product of the interaction of primary electrons with the target, but the collection efficiency of the detector with its energy and angular distributions, as well as any subsequent signal processing, also play a role. In order to arrive at high signal-to-noise ratio, as many signal species should be caught as possible, though achieving a high contrast might require the selection of only a small part of the emission spectra. Multi-channel parallel detectors are promising in this respect.

Klíčová slova česky

mnoha-kanálový detektor, úhlová distribuce nízkoenergiový elektronový mikroskop

Klíčová slova anglicky

multi-channel detector, angular distribution, low energy electron microscope

Vydáno

30.07.2006

ISSN

1431-9276

Časopis

MICROSCOPY AND MICROANALYSIS

Ročník

12

Číslo

2

Počet stran

2

BIBTEX


@article{BUT44384,
  author="Ilona {Müllerová} and Ivo {Konvalina},
  title="Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.",
  journal="MICROSCOPY AND MICROANALYSIS",
  year="2006",
  volume="12",
  number="2",
  month="July",
  issn="1431-9276"
}