Publication detail

Creation of Fine Holes into Quartz Glass by Electron Beam

DUPÁK, L. DUPÁK, J. ZOBAČ, M.

Czech title

Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku

English title

Creation of Fine Holes into Quartz Glass by Electron Beam

Type

journal article - other

Language

cs

Original abstract

Tento článek ukazuje možnosti mikroobrábění pulsním elektronovým svazkem při vytváření jemných otvorů do křemenného skla. Je demonstrován vliv různých parametrů elektronového svazku (proud ve svazku, zaostření, délka pulsu).

Czech abstract

Tento článek ukazuje možnosti mikroobrábění pulsním elektronovým svazkem při vytváření jemných otvorů do křemenného skla. Je demonstrován vliv různých parametrů elektronového svazku (proud ve svazku, zaostření, délka pulsu).

English abstract

This paper shows possibilities of micromachining by pulse electron beam for creation of fine holes into quartz glass. The influence of different parameters of electron beam (such as beam current, focus, pulse duration) is demonstrated.

Keywords in Czech

vrtání elektronovým svazkem

Keywords in English

electron beam drilling

Released

01.01.2006

ISSN

0447-6441

Journal

Jemná mechanika a optika

Volume

51

Number

1

Pages from–to

10–12

Pages count

2

BIBTEX


@article{BUT44399,
  author="Libor {Dupák} and Jan {Dupák} and Martin {Zobač},
  title="Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2006",
  volume="51",
  number="1",
  month="January",
  pages="10--12",
  issn="0447-6441"
}