Detail publikace

Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku

DUPÁK, L. DUPÁK, J. ZOBAČ, M.

Český název

Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku

Anglický název

Creation of Fine Holes into Quartz Glass by Electron Beam

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Tento článek ukazuje možnosti mikroobrábění pulsním elektronovým svazkem při vytváření jemných otvorů do křemenného skla. Je demonstrován vliv různých parametrů elektronového svazku (proud ve svazku, zaostření, délka pulsu).

Český abstrakt

Tento článek ukazuje možnosti mikroobrábění pulsním elektronovým svazkem při vytváření jemných otvorů do křemenného skla. Je demonstrován vliv různých parametrů elektronového svazku (proud ve svazku, zaostření, délka pulsu).

Anglický abstrakt

This paper shows possibilities of micromachining by pulse electron beam for creation of fine holes into quartz glass. The influence of different parameters of electron beam (such as beam current, focus, pulse duration) is demonstrated.

Klíčová slova česky

vrtání elektronovým svazkem

Klíčová slova anglicky

electron beam drilling

Vydáno

01.01.2006

ISSN

0447-6441

Časopis

Jemná mechanika a optika

Ročník

51

Číslo

1

Strany od–do

10–12

Počet stran

2

BIBTEX


@article{BUT44399,
  author="Libor {Dupák} and Jan {Dupák} and Martin {Zobač},
  title="Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2006",
  volume="51",
  number="1",
  month="January",
  pages="10--12",
  issn="0447-6441"
}