Publication detail

Ion mechanics as a tool for nano-world analysis

BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.

Czech title

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

English title

Ion mechanics as a tool for nano-world analysis

Type

journal article - other

Language

cs

Original abstract

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

Czech abstract

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

English abstract

In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.

Keywords in Czech

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi

Keywords in English

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi

RIV year

2009

Released

01.09.2009

ISSN

0447-6441

Journal

Jemná mechanika a optika

Volume

54

Number

7-8

Pages from–to

209–214

Pages count

5

BIBTEX


@article{BUT48479,
  author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola},
  title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  month="September",
  pages="209--214",
  issn="0447-6441"
}