Detail publikace
Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta
BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.
Český název
Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta
Anglický název
Ion mechanics as a tool for nano-world analysis
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
cs
Originální abstrakt
V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS
Český abstrakt
V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS
Anglický abstrakt
In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.
Klíčová slova česky
SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi
Klíčová slova anglicky
SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi
Rok RIV
2009
Vydáno
01.09.2009
ISSN
0447-6441
Časopis
Jemná mechanika a optika
Ročník
54
Číslo
7-8
Strany od–do
209–214
Počet stran
5
BIBTEX
@article{BUT48479,
author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola},
title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta",
journal="Jemná mechanika a optika",
year="2009",
volume="54",
number="7-8",
month="September",
pages="209--214",
issn="0447-6441"
}