Detail publikace

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.

Český název

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

Anglický název

Ion mechanics as a tool for nano-world analysis

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

Český abstrakt

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

Anglický abstrakt

In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.

Klíčová slova česky

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi

Klíčová slova anglicky

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi

Rok RIV

2009

Vydáno

01.09.2009

ISSN

0447-6441

Časopis

Jemná mechanika a optika

Ročník

54

Číslo

7-8

Strany od–do

209–214

Počet stran

5

BIBTEX


@article{BUT48479,
  author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola},
  title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  month="September",
  pages="209--214",
  issn="0447-6441"
}