Publication detail
Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry
OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P.
Czech title
Optická charakterizace absorbujících tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí zobrazovací spektroskopické reflektometrie
English title
Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry
Type
abstract
Language
en
Original abstract
Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.
Czech abstract
Je prezentována aplikace zobrazovací spektroskopické reflektometrie k úplné optické charakterizaci neuniformních absorbujících karbon-nitridových tenkých vrstev. Užitím této techniky je je možno určit plošné rozdělení optických konstant a tloušťky těchto vrstev.
English abstract
Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.
Keywords in Czech
Absorbující tenké vrstvy, optické parametry
Keywords in English
Absorbing thin films, optical parameters
Released
07.07.2008
Publisher
International Commission for Optics
Location
Sydney
Pages from–to
50–50
Pages count
1