Detail publikace
Optická charakterizace absorbujících tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí zobrazovací spektroskopické reflektometrie
OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P.
Český název
Optická charakterizace absorbujících tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí zobrazovací spektroskopické reflektometrie
Anglický název
Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry
Typ
abstrakt
Jazyk
en
Originální abstrakt
Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.
Český abstrakt
Je prezentována aplikace zobrazovací spektroskopické reflektometrie k úplné optické charakterizaci neuniformních absorbujících karbon-nitridových tenkých vrstev. Užitím této techniky je je možno určit plošné rozdělení optických konstant a tloušťky těchto vrstev.
Anglický abstrakt
Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.
Klíčová slova česky
Absorbující tenké vrstvy, optické parametry
Klíčová slova anglicky
Absorbing thin films, optical parameters
Vydáno
07.07.2008
Nakladatel
International Commission for Optics
Místo
Sydney
Strany od–do
50–50
Počet stran
1