Product detail

Orthogonal micropositioning table in transmition mode

ANTOŠ, M.

Czech title

Ortogonální mikropolohovací stolek v transmisním režimu

English title

Orthogonal micropositioning table in transmition mode

Type

functional specimen

Czech abstract

Mechanický stolek pro ortogonální mikropolohování s bezvůlovým uložením využívá pružinové klouby obdélníkového průřezu. Dvoustupňové konstrukční provedení bezvůlového mechanismu umožňuje polohování bez tření v rozsahu 0,75 mm ve dvou kolmých směrech. Pohyby v obou směrech jsou navzájem nezávislé a reprodukovatelné s přesností lepší než 0,2 mikrometru.

English abstract

Flexure hinge having a rectangular cross section is used as a basic construction element in orthogonal micropositioning table. Dual axis flexure stages provide 0.75 mm of fine position adjustment along two orthogonal axes without friction. Repeatability of independent movements is better then 0.2 micrometer.

Create date

31.03.2007

Location

ÚFI FSI VUT v Brně