Ortogonální mikropolohovací stolek v transmisním režimu

Orthogonal micropositioning table in transmition mode

funkční vzorek

Mechanický stolek pro ortogonální mikropolohování s bezvůlovým uložením využívá pružinové klouby obdélníkového průřezu. Dvoustupňové konstrukční provedení bezvůlového mechanismu umožňuje polohování bez tření v rozsahu 0,75 mm ve dvou kolmých směrech. Pohyby v obou směrech jsou navzájem nezávislé a reprodukovatelné s přesností lepší než 0,2 mikrometru.

Flexure hinge having a rectangular cross section is used as a basic construction element in orthogonal micropositioning table. Dual axis flexure stages provide 0.75 mm of fine position adjustment along two orthogonal axes without friction. Repeatability of independent movements is better then 0.2 micrometer.

31.03.2007

ÚFI FSI VUT v Brně