Product detail
Imaging Reflectometer
SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.
Czech title
Zobrazovací in situ reflektometr
English title
Imaging Reflectometer
Type
functional specimen
Czech abstract
Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.
English abstract
Optical device for monitoring of surface homogeneity of thin films
Create date
23.01.2007
Location
A2/518