Detail produktu
Zobrazovací in situ reflektometr
SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.
Český název
Zobrazovací in situ reflektometr
Anglický název
Imaging Reflectometer
Typ
funkční vzorek
Český abstrakt
Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.
Anglický abstrakt
Optical device for monitoring of surface homogeneity of thin films
Datum vzniku
23.01.2007
Umístění
A2/518