Product detail
Hydrogen Atom Beam Source.
MACH, J. ŠIKOLA, T.
Czech title
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
English title
Hydrogen Atom Beam Source.
Type
functional specimen
Czech abstract
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 – 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
English abstract
The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 – 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.
Create date
03.03.2008
Location
A2/518
WWW