Detail produktu
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
MACH, J. ŠIKOLA, T.
Český název
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
Anglický název
Hydrogen Atom Beam Source.
Typ
funkční vzorek
Český abstrakt
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 – 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
Anglický abstrakt
The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 – 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.
Datum vzniku
03.03.2008
Umístění
A2/518
WWW