Detail předmětu
Fyzika a technika vakua
FSI-TTV Ak. rok: 2021/2022 Zimní semestr
Předmět je věnován problematice fyzikálních procesů ve vakuu, měření vakua, technice získávání vakua, materiálům vhodným pro konstrukci vakuových systémů a základním stavebním komponentům vakuových systémů.
Jazyk výuky
čeština
Počet kreditů
3
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Výsledky učení předmětu
Student by měl být po absolvování kursu schopen navrhnout a spočítat jednoduchou UHV soustavu (rychlost čerpání, odplyňování stěn komory, volba materiálů a těsnění apod. vzhledem k zamýšlenému použití aparatury). Měl by též sám být schopen vyhledání netěsností vakuových aparatur a aktivního osvojení základních technologií, které využívají k přípravě tenkých vrstev vakuových systémů.
Prerekvizity
Znalost mechaniky a molekulové fyziky na úrovni učebnice HALLIDAY, D. – RESNICK, R. – WALKER, J. Fyzika, VUTIUM Brno 2001.Předpokládá se rovněž znalost základů diferenciálního a integrálního počtu.
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Předmět je vyučován formou přednášek, které mají charakter výkladu základních principů a teorie dané disciplíny. Cvičení je zaměřeno na praktické zvládnutí látky probrané na přednáškách.
Způsob a kritéria hodnocení
Zkouška je písemná a ústní.
Učební cíle
Cílem kursu je zprostředkování základního vhledu do fyziky vakua tak, aby byl student schopen po absolvování kursu samostatně navrhovat jednoduché vakuové systémy a pracovat samostatně s jednoduchými technologickými aparaturami využívajících k výrobě tenkých vrstev různé stupně vakua.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky
Přítomnost na cvičení je povinná a je sledována vyučujícím. Způsob nahrazení zmeškané výuky ve cvičení bude stanovena vyučujícím na základě rozsahu a obsahu zmeškané výuky.
Použití předmětu ve studijních plánech
Program B-FIN-P: Fyzikální inženýrství a nanotechnologie, bakalářský, povinný
Typ (způsob) výuky
Přednáška
26 hod., nepovinná
Vyučující / Lektor
Osnova
Vakuum. Definice a klasifikace vakua. Klíčové pojmy. Historický vývoj. Význam a využití. Literární zdroje.
Kinetická teorie plynů. Základní vlastnosti plynů. Maxwellovo rozdělení rychlostí molekul. Tlak plynu. Střední volná dráha.
Zákony kinetické teorie plynů. Fyzikální procesy probíhající ve vakuových systémech. Efúze, difúze, přenos tepla a impulsu.
Proudění plynu. Adsorpce a desorpce. Rozpouštění a pronikání. Vypařování a kondenzace.
Ionizace plynu. Interakce elektronů a iontů s pevným povrchem.
Metody získávání vakua. Čerpací rychlost. Čerpání vakuového systému.
Rotační a sorpční vývěvy. Difúzní vývěvy. Turbomolekulární vývěvy. Iontové vývěvy. Kryogenní vývěvy.
Měření vakua. Absolutní a nepřímé měřicí metody. Vakuometr McLeodův, membránový a s rotující kuličkou. Piraniho, Penningův a ionizační vakuometr. Kvadrupólový spektrometr.
Ultravakuové systémy. Komponenty vakuových aparatur. Materiály pro vakuové aparatury.
Ventily a kohouty. Příruby a těsnění. Elektrické průchodky. Přenos pohybu do vakua. Vakuové aparatury.
Výpočet vakuového systému.
Návrh vakuové aparatury. Hledání netěsností. Odplyňování.
Praktické poznámky: Exkurze do laboratoře povrchů a tenkých vrstev, místnost 518, bud. A2, ÚFI FSI VUT Brno – využití vakua ve vědě a průmyslu.
Cvičení
10 hod., povinná
Vyučující / Lektor
Osnova
Příklady počítané ve cvičení budou vycházet z potřeb přednášek (viz např. doporučená literatura pro studenty Lukáč, P.: Sbierka príkladov z vákuovej fyziky.)
Cvičení s počítačovou podporou
3 hod., povinná
Osnova
Viz osnova cvičení základní.