Detail VaV (127118) ▪ FSI VUT v Brně

Český název

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

Anglický název

Membrane beamsplitter based Imaging Spectroscopic Reflectometer

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev

Český abstrakt

Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev

Anglický abstrakt

A new version of an imaging spectroscopic reflectometer has been developed at the Institute of Physical Engineering, Faculty of Mechanical Engineering, Brno University of Technology. The device has been developed for measurements of thin film samples with high gradients of non-uniformity in their optical parameters. This device uses a membrane beamsplitter (typically called Pellicle beamsplitter) as a basic optical element. The new beamsplitter limits the usage of the device only for measurements in VIS and near IR range of light spectra. The new device is complementary to an older one which works also in UV spectral region, but with a lower sample resolution. Both devices together allow application of imaging spectroscopic reflectometry for a wide range of samples of non-uniform thin films.

Klíčová slova česky

zobrazovací spektroskopická reflektometrie; membránový dělič; rozlišení obrazu

Klíčová slova anglicky

Imaging spectroscopic reflectometry; membrane beamsplitter; Pellicle beamsplitter; image resolution

Vydáno

01.07.2016

Nakladatel

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

ISSN

0447-6441

Ročník

61

Číslo

6

Strany od–do

144–148

Počet stran

5

BIBTEX


@article{BUT127118,
  author="Jiří {Vodák} and Miloslav {Ohlídal},
  title="Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  month="July",
  pages="144--148",
  publisher="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  issn="0447-6441"
}