Analýza obrobitelnosti terče z čistého cobaltu pro magnetronovou depozici užitím WEDM

Analysis of Machinability of Pure-Cobalt Disc for Magnetron Deposition Using WEDM

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

en

Cobalt layers prepared by magnetron sputtering are investigated because of their ferromagnetic properties at room temperature for a potential increase in capacity and speed of current memory media. Deposition of magnetically active material is limited by maximum thickness of the used cobalt disc, which was, in this case, set to 3 mm by the device manufacturer. However, the purchased disc had a thickness of 4.3 mm and therefore it was not possible to perform a deposition. For the purpose of halving, we selected an unconventional technology of WEDM, which does not use mechanical energy for material cutting; due to this technology, the workpiece is not affected by mechanical forces. After successful halving of disc, the morphology of machined surface was analyzed using electron microscopy, and subsequently, a detailed analysis of chemical composition (EDX) was performed in several locations on the sample. Next, the topography was examined and the profile and surface parameters of quality of machined surface were evaluated including a 3D colour-filtered surface image.

Cobaltové vrstvy připravené pomocí magnetronového naprašování jsou zkoumány z důvodu feromagnetických vlastností za pokojové teploty z hlediska možného zvýšení kapacity a rychlosti součastných paměťových medií. Provedení depozice magneticky aktivního materiálu je limitováno mezní tloušťku použitého cobaltového terče, která byla v tomto případě stanovena výrobcem zařízení na 3 mm. Zakoupený terč měl však tloušťku 4.3 mm a proto nebylo provedení depozice možné. Za účelem rozpůlení byla zvolena nekonvenční technologie elektroerozivního drátového řezání (WEDM), která nevyužívá k dělení materiálu mechanické energie, díky čemuž na obrobek nepůsobí mechanické síly. Po úspěšném rozpůlení terče byla provedena analýza morfologie obrobeného povrchu užitím elektronové mikroskopie a následně také detailní analýza chemického složení (EDX) v několika místech na vzorku. Dále byla zkoumána topografie a vyhodnoceny profilové a plošné parametry jakosti obrobené plochy včetně 3D barevně filtrovaného snímku povrchu.

Cobalt layers prepared by magnetron sputtering are investigated because of their ferromagnetic properties at room temperature for a potential increase in capacity and speed of current memory media. Deposition of magnetically active material is limited by maximum thickness of the used cobalt disc, which was, in this case, set to 3 mm by the device manufacturer. However, the purchased disc had a thickness of 4.3 mm and therefore it was not possible to perform a deposition. For the purpose of halving, we selected an unconventional technology of WEDM, which does not use mechanical energy for material cutting; due to this technology, the workpiece is not affected by mechanical forces. After successful halving of disc, the morphology of machined surface was analyzed using electron microscopy, and subsequently, a detailed analysis of chemical composition (EDX) was performed in several locations on the sample. Next, the topography was examined and the profile and surface parameters of quality of machined surface were evaluated including a 3D colour-filtered surface image.

WEDM, elektroerozivní obrábění,čistý kobalt, topografie povrchu, morfologie, EDX

WEDM, electrical discharge machining, pure cobalt, topography of surface, morphology, EDX

01.01.2018

Springer, Cham

Brno

978-3-319-65959-6

2194-5357

Mechatronics 2017, Advances in Intelligent Systems and Computing

644

644

141–148

8