Detail publikace

Faktory ovlivňující sběrovou účinnost sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I. MÜLLEROVÁ, I.

Český název

Faktory ovlivňující sběrovou účinnost sekundárních elektronů v REM.

Anglický název

Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM.

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

The Everhart-Thornley (ET) detector is the most often used type of secondary electron (SE) detector in the Scanning Electron Microscope (SEM). While the overall quality of the final image is influenced by all components of the detection channel, the collection efficiency (CE), which is defined as a ratio of collected SEs to all emitted ones, governs the image contrast and its signal to noise ratio. The detective quantum efficiency (DQE) of such detector has been found significantly below one. The main reason is in complicated distribution of electrostatic and magnetic fields in the specimen vicinity, which strongly influences the secondary electrons trajectories.

Český abstrakt

Everhartův-Thornleyho (ET) detektor je jedním z nejčastěji používaných typů detektorů sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM). Přestože celková kvalita konečného obrazu je ovlivněna všemi bloky detekční trasy, sběrová účinnost, definovaná jako poměr detekovaných sekundárních elektronů ze všech emitovaných, mění obrazový kontrast a poměr signálu k šumu. Detekční kvantová účinnost (DQE) těchto detektorů je výrazně menší než jedna. Hlavním důvodem je složité rozložení elektrostatických a magnetických polí v oblasti vzorku, které významným způsobem ovlivňují trajektorie sekundárních elektronů.

Anglický abstrakt

The Everhart-Thornley (ET) detector is the most often used type of secondary electron (SE) detector in the Scanning Electron Microscope (SEM). While the overall quality of the final image is influenced by all components of the detection channel, the collection efficiency (CE), which is defined as a ratio of collected SEs to all emitted ones, governs the image contrast and its signal to noise ratio. The detective quantum efficiency (DQE) of such detector has been found significantly below one. The main reason is in complicated distribution of electrostatic and magnetic fields in the specimen vicinity, which strongly influences the secondary electrons trajectories.

Klíčová slova česky

ET detektor, sekundární elektrony, sběrová účinnost

Klíčová slova anglicky

ET detector, secondary electrons, collection efficiency

Vydáno

28.08.2005

Místo

DAVOS

ISSN

1019-6447

Kniha

Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

Časopis

Microscopy Conference 2005

Počet stran

2

BIBTEX


@inproceedings{BUT21731,
  author="Ivo {Konvalina} and Ilona {Müllerová},
  title="Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM.",
  journal="Microscopy Conference 2005",
  booktitle="Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./",
  year="2005",
  month="August",
  address="DAVOS",
  issn="1019-6447"
}