Detail publikace

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I.

Český název

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují transport částic z oblasti vzorku k detektoru.

Český abstrakt

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují transport částic z oblasti vzorku k detektoru.

Klíčová slova česky

ET detektor, sekundární elektrony, magnetické pole

Vydáno

15.03.2005

Místo

BRNO

ISBN

80-239-4561-0

Kniha

PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky

Počet stran

4

BIBTEX


@inproceedings{BUT21744,
  author="Ivo {Konvalina},
  title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.",
  booktitle="PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky",
  year="2005",
  month="March",
  address="BRNO",
  isbn="80-239-4561-0"
}