Detail publikace
Vytvoření systému kovových microproužků využitím záření EUV laseru
OTTAVIANO, L. BUSSOLOTTI, F. PIPERNO, S. RINALDI, M. SANTUCCI, S. FLORA, F. MEZI, L. DUNNE, P. KAISER, J. REALE, A. RITUCCI, A. ZUPPELA, P.
Český název
Vytvoření systému kovových microproužků využitím záření EUV laseru
Anglický název
Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric litography
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
en
Originální abstrakt
An extremely promising complete nanofabrication process of metallic patterns, to achieve periodic structure resolution well below 100 nm, has been successfully demonstrated. The process includes the EUV patterning encoding on the photoresist and its transfer from the polymer onto a Si substrate using a 46.9 nm table top soft x-ray laser and an interference lithography scheme. After optimizing the PMMA poly(methyl methacrylate) preparation thickness and development, by controlling the metal deposition and subsequent liftoff process on the exposed PMMA/SiO2/Si(1 0 0) samples, we have fabricated large arrays of 200 nm spaced nickel strips on Si surfaces.
Český abstrakt
Článek pojednává o vytvoření systému kovových microproužků využitím záření EUV laseru
Anglický abstrakt
An extremely promising complete nanofabrication process of metallic patterns, to achieve periodic structure resolution well below 100 nm, has been successfully demonstrated. The process includes the EUV patterning encoding on the photoresist and its transfer from the polymer onto a Si substrate using a 46.9 nm table top soft x-ray laser and an interference lithography scheme. After optimizing the PMMA poly(methyl methacrylate) preparation thickness and development, by controlling the metal deposition and subsequent liftoff process on the exposed PMMA/SiO2/Si(1 0 0) samples, we have fabricated large arrays of 200 nm spaced nickel strips on Si surfaces.
Klíčová slova anglicky
soft X-ray laser, interferometric litography, metallic micropatterns
Rok RIV
2008
Vydáno
01.05.2008
ISSN
0963-0252
Časopis
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
Ročník
17
Číslo
2
Strany od–do
24019–24023
Počet stran
4
BIBTEX
@article{BUT48119,
author="Jozef {Kaiser},
title="Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric litography",
journal="PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY",
year="2008",
volume="17",
number="2",
month="May",
pages="24019--24023",
issn="0963-0252"
}