Detail publikace

Srovnání vypočteného, simulovaného a měřeného zesílení signálu v SEM s proměnným tlakem.

NEDĚLA, V. KONVALINA, I. LENCOVÁ, B. ZLÁMAL, J.

Český název

Srovnání vypočteného, simulovaného a měřeného zesílení signálu v SEM s proměnným tlakem.

Anglický název

Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in a variable pressure SEM

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

en

Originální abstrakt

This paper presents computed dependencies of signal amplification of detected electrons on the water vapor pressure in a variable pressure SEM using the EOD software equipped with a Monte Carlo plug-in. We analyze the amplification at selected energies of signal electrons going through a high-pressure water vapor and total signal amplification by including a realistic simulation of the secondary emission from sample. The results are compared with experimental measurements and the dependencies of published analytical models.

Český abstrakt

Článek předkládá vypočtené závislosti zesílení signálu detekovaných elektronů na tlaku vodních par v SEM.

Anglický abstrakt

This paper presents computed dependencies of signal amplification of detected electrons on the water vapor pressure in a variable pressure SEM using the EOD software equipped with a Monte Carlo plug-in. We analyze the amplification at selected energies of signal electrons going through a high-pressure water vapor and total signal amplification by including a realistic simulation of the secondary emission from sample. The results are compared with experimental measurements and the dependencies of published analytical models.

Klíčová slova česky

Interakce elektron-plyn; Simulace Monte-Carlo; Zesílení signálu; Analytický model

Klíčová slova anglicky

Electron-gas interactions; Monte Carlo simulations; Signal amplification; Analytical models

Rok RIV

2011

Vydáno

21.07.2011

ISSN

0168-9002

Časopis

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT

Ročník

645

Číslo

1

Strany od–do

79–83

Počet stran

5

BIBTEX


@article{BUT72697,
  author="Vilém {Neděla} and Ivo {Konvalina} and Bohumila {Lencová} and Jakub {Zlámal},
  title="Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in a variable pressure SEM",
  journal="NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT",
  year="2011",
  volume="645",
  number="1",
  month="July",
  pages="79--83",
  issn="0168-9002"
}