Detail publikace
Srovnání vypočteného, simulovaného a měřeného zesílení signálu v SEM s proměnným tlakem.
NEDĚLA, V. KONVALINA, I. LENCOVÁ, B. ZLÁMAL, J.
Český název
Srovnání vypočteného, simulovaného a měřeného zesílení signálu v SEM s proměnným tlakem.
Anglický název
Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in a variable pressure SEM
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
en
Originální abstrakt
This paper presents computed dependencies of signal amplification of detected electrons on the water vapor pressure in a variable pressure SEM using the EOD software equipped with a Monte Carlo plug-in. We analyze the amplification at selected energies of signal electrons going through a high-pressure water vapor and total signal amplification by including a realistic simulation of the secondary emission from sample. The results are compared with experimental measurements and the dependencies of published analytical models.
Český abstrakt
Článek předkládá vypočtené závislosti zesílení signálu detekovaných elektronů na tlaku vodních par v SEM.
Anglický abstrakt
This paper presents computed dependencies of signal amplification of detected electrons on the water vapor pressure in a variable pressure SEM using the EOD software equipped with a Monte Carlo plug-in. We analyze the amplification at selected energies of signal electrons going through a high-pressure water vapor and total signal amplification by including a realistic simulation of the secondary emission from sample. The results are compared with experimental measurements and the dependencies of published analytical models.
Klíčová slova česky
Interakce elektron-plyn; Simulace Monte-Carlo; Zesílení signálu; Analytický model
Klíčová slova anglicky
Electron-gas interactions; Monte Carlo simulations; Signal amplification; Analytical models
Rok RIV
2011
Vydáno
21.07.2011
ISSN
0168-9002
Časopis
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT
Ročník
645
Číslo
1
Strany od–do
79–83
Počet stran
5
BIBTEX
@article{BUT72697,
author="Vilém {Neděla} and Ivo {Konvalina} and Bohumila {Lencová} and Jakub {Zlámal},
title="Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in a variable pressure SEM",
journal="NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT",
year="2011",
volume="645",
number="1",
month="July",
pages="79--83",
issn="0168-9002"
}