Detail publikace
Řízení mikrodefektů během růstu CZ krystalů a výroby Si desek
VÁLEK, L. ŠIK, J.
Český název
Řízení mikrodefektů během růstu CZ krystalů a výroby Si desek
Anglický název
Defect Engineering During Czochralski Crystal Growth and Silicon Wafer Manufacturing
Typ
kapitola v knize
Jazyk
en
Originální abstrakt
The chapter on the growth of single crystals of Czochralski silicon and formation and control of crystal defects in silicon. The book deals with bulk crystal growth and thin film preparation.
Český abstrakt
Kapitola o růstu monokrystalů křemíku Czochralskiho metodou a o vzniku a řízení defektů v těchto krystalech. Kniha je zaměřena na problematiku přípravy objemových krystalů a tenkých vrstev.
Anglický abstrakt
The chapter on the growth of single crystals of Czochralski silicon and formation and control of crystal defects in silicon. The book deals with bulk crystal growth and thin film preparation.
Klíčová slova česky
křemík; monokrystal; defekty
Klíčová slova anglicky
silicon; single crystal; defects
Rok RIV
2012
Vydáno
13.01.2012
Nakladatel
INTECH
Místo
Rieka, Croatia
ISBN
978-953-307-610-2
Kniha
Modern Aspects of Bulk Crystal and Thin Film Preparation
Číslo edice
1
Strany od–do
43–70
Počet stran
28
BIBTEX
@inbook{BUT89045,
author="Lukáš {Válek} and Jan {Šik},
title="Defect Engineering During Czochralski Crystal Growth and Silicon Wafer Manufacturing",
booktitle="Modern Aspects of Bulk Crystal and Thin Film Preparation",
year="2012",
month="January",
pages="43--70",
publisher="INTECH",
address="Rieka, Croatia",
isbn="978-953-307-610-2"
}