Detail publikace

Stanovení mechanických vlastností materiálu z mikrokompresního testu

TRUHLÁŘ, M. KRUML, T. KUBĚNA, I. PETRÁČKOVÁ, K. NÁHLÍK, L.

Český název

Stanovení mechanických vlastností materiálu z mikrokompresního testu

Anglický název

Determination of mechanical properties from microcompression test

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

This paper describes a microcompression test of Al – 1.5 wt. % Cu thin film deposited on Si substrate. Microcompression combines the sample preparation with the use of ion focused beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared using FIB. The diameter of pillars was about 1.3 microns and their height was about 2 microns (equal to the film thickness). Stress-strain curves of the thin film were obtained. The results depend on crystallographic orientation of pillar. The paper is focused to an attempt to determine as precisely as possible Young modulus of the film using experimental data and finite element modelling.

Český abstrakt

Tento příspěvek popisuje mikrokompresní test tenkého filmu Al – 1,5 hm. % Cu na Si podkladu. Mikrokompresní test spočívá jak v přípravě vzorku s použitím fokusovaného iontového svazku (FIB), tak s kompresním testem provedeným za použití nanoindentoru. Válcové vzorky (pilíře) byly připraveny pomocí FIB. Průměr pilířů byl asi 1,3 mikrometru a jejich výška byla asi 2 mikrometry (což odpovídá tloušťce filmu). Z výsledků experimentu byly získány křivky napětí-deformace tenké vrstvy. Výsledky ukazují jejich závislost na krystalografické orientaci pilíře. Příspěvek je zaměřen na zjištění co nejpřesnějších hodnot modulu pružnosti v tahu filmu s použitím experimentálních dat a pomocí metody konečných prvků.

Anglický abstrakt

This paper describes a microcompression test of Al – 1.5 wt. % Cu thin film deposited on Si substrate. Microcompression combines the sample preparation with the use of ion focused beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared using FIB. The diameter of pillars was about 1.3 microns and their height was about 2 microns (equal to the film thickness). Stress-strain curves of the thin film were obtained. The results depend on crystallographic orientation of pillar. The paper is focused to an attempt to determine as precisely as possible Young modulus of the film using experimental data and finite element modelling.

Klíčová slova česky

mechanické vlastnosti, tenké vrstvy, mikrokompresní test

Klíčová slova anglicky

mechanical properties, thin layers, microcompression test

Rok RIV

2012

Vydáno

14.05.2012

ISBN

978-80-86246-40-6

Kniha

Sborník Engineering Mechanics 2012

Strany od–do

1435–1440

Počet stran

6

BIBTEX


@inproceedings{BUT97155,
  author="Michal {Truhlář} and Tomáš {Kruml} and Ivo {Kuběna} and Klára {Petráčková} and Luboš {Náhlík},
  title="Determination of mechanical properties from microcompression test",
  booktitle="Sborník Engineering Mechanics 2012",
  year="2012",
  month="May",
  pages="1435--1440",
  isbn="978-80-86246-40-6"
}