čeština

prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.

Ústav fyzikálního inženýrství

V rámci úvodu do předmětu se studenti v rozsahu potřebném k jeho zvládnutí seznámí

• s popisem náhodně drsného povrchu (Náhodné funkce, Výkonová spektrální hustota náhodné funkce, Spojitá i Diskretní Fourierova transformace),
• se základy teorie difrakce, z nichž vycházejí obě výše uvedené teorie rozptylu elektromagnetického záření,
• se základy optiky tenkých vrstev s důrazem na vrstvy s defekty.

Dílčí zkouška doktorského studia.

Zkouška je ústní. Zkoušený může používat jakoukoli literaturu.

Na základě požadavků optického průmyslu je obsah předmětu zúžen na povrchy generované pro průmyslově použitelné optické aplikace. Kvalita těchto povrchů je dána především jejich tvarem, drsností, resp. pokrytím vhodnými tenkými vrstvami. Studenti se tedy seznámí se základy optické profilometrie, použitím rozptylu elektromagnetického záření ze zmíněných povrchů i s určováním optických parametrů tenkých vrstev.

Studenti se seznámí

1. s principy činnosti nejužívanějších optických profilometrů a omezeními jejich použití v dané úloze. Ověří si své znalosti praktickým měření s optickým profilometrem MicroProf FRT i v nestandardních úlohách (např. při měření reziduálního vnitřního pnutí v tenkých vrstvách)
2. s použitím Beckmanovy-Kirchhoffovy a Rayleighovy-Riceovy teorie pro určení náhodné drsnosti daných povrchů. Ověří si své znalosti praktickým měřením se skaterometrem SMIII, který byl postaven v naší laboratoři.
3. s nestandardní technikou zobrazovací spektroskopické reflektometrie určené k optické charakterizaci neuniformních tenkých vrstev. Ověří si své znalosti praktickým měřením se zobrazovacími spektroskopickými reflektometry postavenými v naší laboratoři.

Program D-FIN-P: Fyzikální inženýrství a nanotechnologie, doktorský, doporučený kurs

20 hod., nepovinná

1. Charakter drsného povrchu a jeho popis


2. Klasické optické metody měření kvality povrchu (stručný přehled)


3. Moderní optické metody měření kvality povrchu (stručný přehled)


4. Optická profilometrie pro povrchy generované pro průmyslově použitelné optické aplikace.


5. Formulace Beckmanovy-Kirchhoffovy teorie rozptylu elektromagnetických vln z povrchů generovaných pro optické aplikace.


6. Formulace Rayleighovy-Riceovy teorie rozptylu elektromagnetických vln z povrchů generovaných pro optické aplikace.


7. Základy optiky tenkých vrstev s důrazem na tenké vrstvy s defekty


8. Příspěvek Laboratoře koherenční optiky ÚFI FSI VUT v Brně k problematice předmětu