Detail publikace

Výpočet zobrazovacích vlastností magnetických čoček v tolerančním rozsahu mechnické přesnosti obrábění

SHÁNĚL, O. ZLÁMAL, J. ORAL, M.

Český název

Výpočet zobrazovacích vlastností magnetických čoček v tolerančním rozsahu mechnické přesnosti obrábění

Anglický název

Calculation of the performance of magnetic lenses with limited machining precision

Typ

článek v časopise ve Web of Science, Jimp

Jazyk

en

Originální abstrakt

To meet a required STEM resolution, the mechanical precision of the pole pieces of a magnetic lens needs to be determined. A tolerancing plugin in the EOD software is used to determine a configuration which both meets the optical specifications and is cost effective under the constraints of current manufacturing technologies together with a suitable combination of correction elements.

Český abstrakt

Aby bylo dosaženo požadovaného rozlišení v STEM je třeba určit přesnost výroby pólových nástavců magnetických čoček. Toto je uděláno v modulu toleracnce v programu EOD.

Anglický abstrakt

To meet a required STEM resolution, the mechanical precision of the pole pieces of a magnetic lens needs to be determined. A tolerancing plugin in the EOD software is used to determine a configuration which both meets the optical specifications and is cost effective under the constraints of current manufacturing technologies together with a suitable combination of correction elements.

Klíčová slova česky

Toleranční analýza; Gemoetrické nepřesnosti; Velikost stopy; Vady zobrazení; Saturovaná magnetická čočka.

Klíčová slova anglicky

Tolerance analysis; Perturbed geometry; Spot size; Aberrations; Saturated magnetic lens

Rok RIV

2014

Vydáno

01.02.2014

ISSN

0304-3991

Ročník

137

Číslo

1

Strany od–do

1–6

Počet stran

6

BIBTEX


@article{BUT103136,
  author="Ondřej {Sháněl} and Jakub {Zlámal} and Martin {Oral},
  title="Calculation of the performance of magnetic lenses with limited machining precision",
  year="2014",
  volume="137",
  number="1",
  month="February",
  pages="1--6",
  issn="0304-3991"
}