Detail publikace
Výpočet zobrazovacích vlastností magnetických čoček v tolerančním rozsahu mechnické přesnosti obrábění
SHÁNĚL, O. ZLÁMAL, J. ORAL, M.
Český název
Výpočet zobrazovacích vlastností magnetických čoček v tolerančním rozsahu mechnické přesnosti obrábění
Anglický název
Calculation of the performance of magnetic lenses with limited machining precision
Typ
článek v časopise ve Web of Science, Jimp
Jazyk
en
Originální abstrakt
To meet a required STEM resolution, the mechanical precision of the pole pieces of a magnetic lens needs to be determined. A tolerancing plugin in the EOD software is used to determine a configuration which both meets the optical specifications and is cost effective under the constraints of current manufacturing technologies together with a suitable combination of correction elements.
Český abstrakt
Aby bylo dosaženo požadovaného rozlišení v STEM je třeba určit přesnost výroby pólových nástavců magnetických čoček. Toto je uděláno v modulu toleracnce v programu EOD.
Anglický abstrakt
To meet a required STEM resolution, the mechanical precision of the pole pieces of a magnetic lens needs to be determined. A tolerancing plugin in the EOD software is used to determine a configuration which both meets the optical specifications and is cost effective under the constraints of current manufacturing technologies together with a suitable combination of correction elements.
Klíčová slova česky
Toleranční analýza; Gemoetrické nepřesnosti; Velikost stopy; Vady zobrazení; Saturovaná magnetická čočka.
Klíčová slova anglicky
Tolerance analysis; Perturbed geometry; Spot size; Aberrations; Saturated magnetic lens
Rok RIV
2014
Vydáno
01.02.2014
ISSN
0304-3991
Ročník
137
Číslo
1
Strany od–do
1–6
Počet stran
6
BIBTEX
@article{BUT103136,
author="Ondřej {Sháněl} and Jakub {Zlámal} and Martin {Oral},
title="Calculation of the performance of magnetic lenses with limited machining precision",
year="2014",
volume="137",
number="1",
month="February",
pages="1--6",
issn="0304-3991"
}