Detail publikace
Instrument pro Diagnostiku Tenkých vrstev pomocí UV Spektroskopiské reflektometrie.
URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. FIEDOR, M. CHMELÍK, R. BUČEK, M. ŠIKOLA, T.
Český název
Instrument pro Diagnostiku Tenkých vrstev pomocí UV Spektroskopiské reflektometrie.
Anglický název
Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.
Český abstrakt
Systém pro plošné monitorovámí homegenity růstu tenkých vrstev pomocí spektroskopické elipsmetrie.
Anglický abstrakt
A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.
Klíčová slova anglicky
Thin Films, Reflectometry, Interferometry
Rok RIV
2003
Vydáno
06.10.2003
Nakladatel
ECASIA
Místo
Berlin
Kniha
ECASIA '03 Book of abstracts
Počet stran
1
BIBTEX
@inproceedings{BUT11095,
author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Marián {Fiedor} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola},
title="Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry",
booktitle="ECASIA '03 Book of abstracts",
year="2003",
month="October",
publisher="ECASIA",
address="Berlin"
}