Detail publikace
In-situ analýza PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS.
ČECHAL, J. TICHOPÁDEK, P. NEBOJSA, A. BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T.
Český název
In-situ analýza PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS.
Anglický název
In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.
Český abstrakt
Studium degradace PMPSi vlivem teploty a UV záření je studována pomocí XPS a spektroskopické elipsometrie.
Anglický abstrakt
Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.
Klíčová slova anglicky
XPS, PMPSi, spectroscopic ellipsometry
Rok RIV
2003
Vydáno
06.10.2003
Nakladatel
ECASIA
Místo
Berlin
Kniha
ECASIA 10 Book of Abstracts
Počet stran
1
BIBTEX
@inproceedings{BUT11096,
author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová - Zrzavecká} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola},
title="In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS",
booktitle="ECASIA 10 Book of Abstracts",
year="2003",
month="October",
publisher="ECASIA",
address="Berlin"
}