Detail publikace
Výpočet profilů svazku v SEM a FIB
KOLOŠOVÁ, J. HRNČÍŘ, T. JIRUŠE, J. RUDOLF, M. ZLÁMAL, J.
Český název
Výpočet profilů svazku v SEM a FIB
Anglický název
On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles
Typ
článek v časopise ve Scopus, Jsc
Jazyk
en
Originální abstrakt
In this paper we describe the results of calculations, based on detailed manufacturer’s knowledge of the instrument optical system. This is compared to experimentally measured resolution and the correlation of these data is discussed.
Český abstrakt
V tomto článku jsou diskutovány výsledky výpočtů rozlišení založené na detailní znalosti optického systému elektronových mikroskopů a porovnány s experimentálními daty.
Anglický abstrakt
In this paper we describe the results of calculations, based on detailed manufacturer’s knowledge of the instrument optical system. This is compared to experimentally measured resolution and the correlation of these data is discussed.
Klíčová slova česky
Elektronová optika; Výpočty; EOD
Klíčová slova anglicky
Electron optics; Calculations; EOD
Rok RIV
2015
Vydáno
30.06.2015
ISSN
1431-9276
Ročník
21
Číslo
S4
Strany od–do
206–211
Počet stran
6
BIBTEX
@article{BUT119197,
author="Jolana {Kološová} and Tomáš {Hrnčíř} and Jaroslav {Jiruše} and Miroslav {Rudolf} and Jakub {Zlámal},
title="On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles",
year="2015",
volume="21",
number="S4",
month="June",
pages="206--211",
issn="1431-9276"
}