Detail publikace
Flexibilní fólie vytvořené ozařováním vzorku elektonovým svazkem rastrovacího elektronového mikroskopu
ČECHAL, J. ŠIKOLA, T.
Český název
Flexibilní fólie vytvořené ozařováním vzorku elektonovým svazkem rastrovacího elektronového mikroskopu
Anglický název
Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope
Typ
článek v časopise ve Web of Science, Jimp
Jazyk
en
Originální abstrakt
The ubiquitous presence of hydrocarbon contamination on solid surfaces alters their inherent physical properties and complicates the surface analyses. An irradiation of sample surface with electron beam can lead to the chemical transformation of the hydrocarbon layer to carbon films, which are flexible and capable of acting as a barrier for chemical etching of an underlying material. The growth of these foils is limited by supply of hydrocarbons to the writing beam position rather than the electron dose or electron beam current. The prepared films can find their applications in fabrication of surface nanostructures without a need of an electron sensitive resist material.
Český abstrakt
Ozáření vzorku elektronový svazkem vede k chemické transformaci vrstvy uhlovodíků na uhlíkové filmy. Tyto jsou flexibilní a mohou být využity jako bariéra pro selktivní chemické leptání SiO2.
Anglický abstrakt
The ubiquitous presence of hydrocarbon contamination on solid surfaces alters their inherent physical properties and complicates the surface analyses. An irradiation of sample surface with electron beam can lead to the chemical transformation of the hydrocarbon layer to carbon films, which are flexible and capable of acting as a barrier for chemical etching of an underlying material. The growth of these foils is limited by supply of hydrocarbons to the writing beam position rather than the electron dose or electron beam current. The prepared films can find their applications in fabrication of surface nanostructures without a need of an electron sensitive resist material.
Klíčová slova česky
Uhlíková kontaminace; Uhlovodíky; Ozařování elektronovým svazkem; Vákuum; SiO2; Povrchové procesy
Klíčová slova anglicky
Adventitious carbon; Hydrocarbon contamination; Electron beam irradiation; Vacuum; Silicon dioxide, SiO2; Surface processes
Vydáno
24.06.2017
ISSN
0169-4332
Ročník
423
Číslo
1
Strany od–do
538–541
Počet stran
4
BIBTEX
@article{BUT137792,
author="Jan {Čechal} and Tomáš {Šikola},
title="Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope",
year="2017",
volume="423",
number="1",
month="June",
pages="538--541",
issn="0169-4332"
}