Detail publikace

Charakterizace tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech pomocí spektroskopické digitální reflektometrie

OHLÍDAL, I. OHLÍDAL, M. KLAPETEK, P. ČUDEK, V. JÁKL, M.

Český název

Charakterizace tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech pomocí spektroskopické digitální reflektometrie

Anglický název

Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. The spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large area of the substrates of the nonuniform films are found.

Český abstrakt

Při aplikaci této metody je použita speciální experimetální sestava se CCD kamerou jako detektorem. Jsou získány spektrální závislosti lokálních odrazivostí. Zpracováním těchto experientálních dat jsou nalezena rozdělení hodnot lokální tloušťky a lokálního indexu lomu na velké ploše neuniformních vrstev na podložce.

Anglický abstrakt

For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. The spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large area of the substrates of the nonuniform films are found.

Klíčová slova anglicky

Films nonuniform in optical parameters, optical characterization

Rok RIV

2003

Vydáno

01.09.2003

Nakladatel

SPIE-The International Society for Optical Engineering

Místo

Bellingham, Washington, USA

ISBN

0-8194-5055-3

ISSN

0277-786X

Kniha

Proceedings of SPIE

Ročník

Vol 5182

Číslo edice

Vol 5182

Strany od–do

260–271

Počet stran

12

BIBTEX


@inproceedings{BUT14081,
  author="Ivan {Ohlídal} and Miloslav {Ohlídal} and Petr {Klapetek} and Vladimír {Čudek} and Miloš {Jákl},
  title="Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry",
  booktitle="Proceedings of SPIE",
  year="2003",
  volume="Vol 5182",
  month="September",
  pages="260--271",
  publisher="SPIE-The International Society for Optical Engineering",
  address="Bellingham, Washington, USA",
  isbn="0-8194-5055-3",
  issn="0277-786X"
}