Detail publikace
Mikroobrábění elektronovým svazkem
DUPÁK, L. ZOBAČ, M.
Český název
Mikroobrábění elektronovým svazkem
Anglický název
Electron Beam Micromachining
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
The paper describes shows some results of electron beam micromachining done. The used device is derived from electron beam welding machine SES-1 developed at ISI Brno. Several types of materials as stainless steel, titanium, quartz glass, ceramics and some plastics were drilled. Typical shape of created holes is cone, which results in very small holes on the opposite side, especially in quartz glass (less than 10 microns in diameter, thickness of 0.7 mm).
Český abstrakt
Článek popisuje experimentální zařízení na mikroobrábění elektronovým svazkem spolu s několika experimenty. Zařízení je odvozeno ze stolní elektronové svářečky SES-1 vyvinuté na ÚPT v Brně. Pomocí tohoto zařízení byla úspěšně vrtána řada rozdílných materiálů jako nerezová ocel, titan, křemenné sklo, keramika a některé plasty.
Anglický abstrakt
The paper describes shows some results of electron beam micromachining done. The used device is derived from electron beam welding machine SES-1 developed at ISI Brno. Several types of materials as stainless steel, titanium, quartz glass, ceramics and some plastics were drilled. Typical shape of created holes is cone, which results in very small holes on the opposite side, especially in quartz glass (less than 10 microns in diameter, thickness of 0.7 mm).
Klíčová slova česky
vrtání elektronovým svazkem, křemenné sklo
Klíčová slova anglicky
electron beam drilling; quartz glass
Vydáno
22.05.2006
Nakladatel
Institute of Scientific Instruments AS CR and the Czechoslovak Microscopy Society
Místo
Brno
ISBN
80-239-6285-X
Kniha
Proceedings of 10th seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instruments
Číslo edice
NEUV
Počet stran
2
BIBTEX
@inproceedings{BUT21748,
author="Libor {Dupák} and Martin {Zobač},
title="Electron Beam Micromachining",
booktitle="Proceedings of 10th seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instruments",
year="2006",
month="May",
publisher="Institute of Scientific Instruments AS CR and the Czechoslovak Microscopy Society",
address="Brno",
isbn="80-239-6285-X"
}