Detail publikace

Přesné měření rozdělení tloušťky neuniformních tenkých vrstev zobrazovací spektroskopickou reflektometrií

OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P. NEČAS, D.

Český název

Přesné měření rozdělení tloušťky neuniformních tenkých vrstev zobrazovací spektroskopickou reflektometrií

Anglický název

PRECISE MEASUREMENT OF THICKNESS DISTRIBUTION OF NON-UNIFORM THIN FILMS BY IMAGING SPECTROSCOPIC REFLECTOMETRY

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

A new method of imaging spectroscopic photometry enabling us to perform the complete optical characterization of thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented. An original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence is used to apply this method. The method described was used to characterize carbon-nitride thin films.

Český abstrakt

Je presentována nová metoda zobrazovací spektroskopické fotometrie umožňující úplně charakterizovat tenké vrstvy vykazující plošnou neuniformitu v optických parametrech. K realizaci této metody byl použit původní zobrazovací spektroskopický fotometr pracující v reflexním módu. Metoda byla použita pro charakterizaci karbon-nitridových tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

A new method of imaging spectroscopic photometry enabling us to perform the complete optical characterization of thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented. An original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence is used to apply this method. The method described was used to characterize carbon-nitride thin films.

Klíčová slova česky

neuniformní tenké vrstvy, zobrazovací spektroskopická reflektometrie

Klíčová slova anglicky

non-uniform thin films, imaging spectroscopic reflectometry

Rok RIV

2009

Vydáno

11.09.2009

Nakladatel

IMEKO

Místo

Lisabon

ISBN

978-963-88410-0-1

Kniha

Proceedings of IMEKO 2009

Strany od–do

100–105

Počet stran

6

BIBTEX


@inproceedings{BUT32157,
  author="Miloslav {Ohlídal} and Ivan {Ohlídal} and Petr {Klapetek} and David {Nečas},
  title="PRECISE MEASUREMENT OF THICKNESS DISTRIBUTION OF NON-UNIFORM THIN FILMS BY IMAGING SPECTROSCOPIC REFLECTOMETRY",
  booktitle="Proceedings of IMEKO 2009",
  year="2009",
  month="September",
  pages="100--105",
  publisher="IMEKO",
  address="Lisabon",
  isbn="978-963-88410-0-1"
}