Detail publikace
Morfologie periodických nanostruktur vytvořených interferenční litografii využitím laseru emitujícího na vlnové délce 46,9 nm
PREZIOSO, S. LUCIANI, D. TUCCERI, P. deMARCO, P. GAUDIERI, A. KAISER, J. SANTUCCI, S. OTTAVIANO, L. ZUPPELLA, P.
Český název
Morfologie periodických nanostruktur vytvořených interferenční litografii využitím laseru emitujícího na vlnové délce 46,9 nm
Anglický název
Morphology Investigation of Periodic Nano-patterns Produced by Large Area X-ray Interference Litography
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
Utilization of prototype low-cost tabletop soft X-ray laser (46.9 nm) as an Interference Nano-Litography tool is reported. The laser was developed in a frame of international cooperation at the University of LAquila, Italy. Interference Nano-Litography is one of the svereal applications this laser is used for.
Český abstrakt
Příspěvek pojednává o měření morfologie periodických nanostruktur vytvořených interferenční litografii využitím laseru emitujícího na vlnové délce 46,9 nm. Stolní laser využívající kapilární výboje byl postaven v rámci mezinárodní spolupráce na Universite v LAquile.
Anglický abstrakt
Utilization of prototype low-cost tabletop soft X-ray laser (46.9 nm) as an Interference Nano-Litography tool is reported. The laser was developed in a frame of international cooperation at the University of LAquila, Italy. Interference Nano-Litography is one of the svereal applications this laser is used for.
Klíčová slova anglicky
nano-litography, soft X-ray laser, Ar+8, 46.9 nm
Rok RIV
2009
Vydáno
01.09.2009
Nakladatel
Task Publishing
Místo
Gdansk, Poland
ISBN
978-83-908112-7-7
Kniha
Joint Conferences on Advanced Materials, 6th Workshop on Functional and Nanostructured Materials, 10th Conference on Intermolecular and Magnetic Interactions in Matter
Číslo edice
1
Strany od–do
249–249
Počet stran
1
BIBTEX
@inproceedings{BUT32646,
author="Jozef {Kaiser},
title="Morphology Investigation of Periodic Nano-patterns Produced by Large Area X-ray Interference Litography",
booktitle="Joint Conferences on Advanced Materials, 6th Workshop on Functional and Nanostructured Materials, 10th Conference on Intermolecular and Magnetic Interactions in Matter",
year="2009",
month="September",
pages="249--249",
publisher="Task Publishing",
address="Gdansk, Poland",
isbn="978-83-908112-7-7"
}