Detail publikace

Control of defects and gettering in Czochralski silicon

ŠIK, J. LORENC, M. VÁLEK, L.

Český název

Control of defects and gettering in Czochralski silicon

Anglický název

Control of defects and gettering in Czochralski silicon

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Vydáno

01.09.2004

ISBN

80-7345-032-1

BIBTEX


@inproceedings{BUT35644,
  author="Jan {Šik} and Michal {Lorenc} and Lukáš {Válek},
  title="Control of defects and gettering in Czochralski silicon",
  year="2004",
  month="September",
  isbn="80-7345-032-1"
}